WTS-103C（製造中止）
- 有機EL/LCD/LCOS/CCD/CISアレイ・ウエファ検査装置
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有機EL、低温･高温ポリシリ～アモルファスTFTアレイ、LCOS、CCD、CMOSイメージセンサーウエファ用フルスペック検査装置です。
製品仕様
| 対応デバイス | 有機EL、低温･高温ポリシリ～アモルファスTFTアレイ、LCOS、CCD、CIS、VGA～UXGA （全ピン、分割コンタクトブローバー対応） |
| 測定方式 | DCS方式 |
| 処理方式 | 画像処理による。 |
| 駆動パターン、クロック | DC～40NHz 100ps分解能、32～最大128チャンネル |
| 駆動電圧 | 40Vp-p最大128チャンネル |
| 画素データ取り込み | 40MHz 10bit 800万画素までのバッファメモリ |
| ＤＣパラメトリック・テスト | シフトレジスタ、電流電圧測定機能 |