ウインテスト株式会社：WTS-311

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	●有機EL/LCD/LCOS/CCD/CISアレイ・ウエファ検査装置

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有機EL、低温・高温ポリシリ～アモルファスTFTアレイ、LCOS、CCD、CMOSイメージセンサーウエファ用フルスペック新型検査装置です。将来のデバイストレンドを見越し、高周波での画素データ取り込み、複数デバイス同時測定、画素データ取り込みなどの機能が大幅に強化されました。2003年9月に１号機を納入、12月に検収があがりました。




対応デバイス	：	有機EL、低温・高温ポリシリ～アモルファスTFTアレイ、 LCOS（VGA～UXGA、全ピン、分割コンタクトプローバー対応）、CCD、CIS


測定方式	：	DCS方式

処理方式	：	ソフト/ハードでの画像処理による。従来比４倍以上

駆動パターン、クロック	：	DC～80MHz

駆動電圧	：	-10.24v ～ +20.47v

画素データ取り込み	：	最大8ch、3億8000画素/ch

ＤＣパラメトリック・テスト	：	シフトレジスタ、パーピン電流電圧測定機能